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淺談冷凝泵結的構說明

發布時間:2021-07-23 點擊量:113

  冷凝泵無油,對所有氣體的提取速度都很大。特別是水蒸氣、H2等萃取速度大,適應性強,冰箱低速工作,移動部件很少,有利于長期可靠的運行。因此,冷凝廣泛適用于IC生產過程的蒸發、濺射、離子注入、分子束外延及其他高能粒子加速器。

  冷凝構說明是什么?

  品種

  N型冷凝泵分為水平懸臂端,2級離心泵,共8個品種。單個級別為3N6、4N6、100N130。第二級為2.5N3X2、3N6X24N6X2。單級誘導輪有6N6,150N110

  凝結泵支撐部分

  支撐部分的主要部件是支架、前后鈾壓力蓋及鈾組合位于支架的前后徑向滾珠鈾軸承上,滾動滾珠鈾軸承也能承受不平衡的鈾方向力。用稀油潤滑的話,油量可以在油表上看到。前后鈾壓力蓋均配有氈密封,用鈾封條防止漏油。管子堵塞處的洞是用來加油的。換油時,請從鋼絲孔中排出油。

  密封和傳動

  泵用柔軟的填料密封,鈾棒上有可更換的鈾蓋。泵通過彈性鈾機由電動機驅動,從傳動方向看,泵逆時針旋轉。

  冷凝工作部分

  第一段:主要由硅黃銅80-3鑄造的葉輪通過鑰匙固定45號優碳制成的軸,葉輪安裝在由耐磨鑄鐵HT20-40制成的泵體、泵蓋組成的泵工作室中。動力器通過車軸驅動軸承支撐的軸和葉輪,泵工作。用耐磨鑄鐵HT20-40制作的套筒、耐磨鑄鐵HT20-40制作的套筒泵后的包裝函中含有充電環,將油浸在石墨石棉繩上,打開蓋子,加長兩個螺栓,可收緊填料,調節松脫,外部引入高于大氣壓的密封水。通過交接對準充電環,在整個充電器內隔絕空氣,侵犯泵內密封條,防止泵內水泄漏,只排出少量潤滑水滴。在葉輪上打開平衡孔,消除軸向推力,使高壓區域能與進口低壓區溝通,為防止泵體和泵蓋磨損,做好維修工作,泵體、泵蓋設有密封環,泵體上有絲孔,用于防雨,停車檢修時,泵內的水從絲孔中逸出,為方便泵體和泵蓋的拆卸,準備了蓋子。

  二級:其余與一級一樣,只有泵蓋、泵和中間導葉組成兩個工作室,兩個室內配有硅黃銅80-3制作的一級葉輪和鑄鐵HT20-40CuMo制作的葉輪。短帶誘導輪:其余與短級相同,只有葉輪材料為鋁青銅9-4,在葉輪前添加鋁青銅9-4制成的誘導輪,提高氣蝕性能。



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